一种超薄压电陶瓷的加工方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种超薄压电陶瓷的加工方法.pdf

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本发明提供了一种超薄压电陶瓷的加工方法，应用于压电陶瓷加工设备，所述加工设备包括水平运动平台、升降驱动组件、激光组件，所述水平运动平台上设置有真空吸附治具，所述激光组件包括聚焦镜，所述聚焦镜设置在所述升降驱动组件上，包括以下步骤：将所述超薄压电陶瓷放置于所述真空吸附治具上；所述升降驱动组件驱动聚焦镜移动到预设高度；所述水平运动平台驱动真空吸附治具移动到加工位置；所述激光组件对所述超薄压电陶瓷进行切割。通过激光组件对超薄压电陶瓷进行切割，避免了因使用刀具和冷却液从而导致产品产生裂纹和崩边，使得良品

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112238295 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010943529.2 B23K 26/402 (2014.01)