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本发明一种涡流和声阻抗检测传感器及其制作方法，用于金属和非金属复合材料(1)中的金属层(11)和非金属层(12)进行无损检测，包括检测仪器(2)和检测探头(3)，其特征在于所述检测探头(3)包括设置于探头外壳(31)内、通过检测探头内部中心引线(32)连接于检测仪器(2)的检测传感器(33)，其中检测传感器(33)包括压电晶片(334)、以及包覆于压电晶片(334)的上金属膜层(332)和下金属膜层(333)，所述下金属膜层(333)设置为刻制而成的平面螺旋线状的涡流线圈(335)，通过设置于检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112326782 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202011233452.6 审查员 孙晴晴
(22)申请日 2020.11.06
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