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- 2023-05-30 发布于四川
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本发明属于氦质谱检漏测试设备领域，具体公开了一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，包括检测箱，检测箱中部安装氦气浓度检测控制仪，氦气浓度检测控制仪内部集成设置有混合氦气取样阀、稳压控制阀、微流量控制阀、氦气浓度传感器、数据输出模块、进气端口、排气端口、数据显示器、信号放大器、数据处理器、控制触点及控制信号输出端口和电源装置，氦气浓度传感器包括恒温控制结构和传感器本体。本发明可安装在氦质谱检漏测试系统的氦气配气回收装置中使用，并且可以在其它需要检测氦气浓度的系统中使用，自动实时控制系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112461458 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011000820.2
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 上海德义机电股份有限公司
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