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一种静电吸头及其制造方法、以及转移Micro LED方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种静电吸头及其制造方法、以及转移Micro LED方法.pdf

    本发明提供一种静电吸头及其制造方法、以及转移MicroLED方法，一种静电吸头，包括位于玻璃基板上且阵列设置的记忆合金层、缓冲层、电极层和介电层，其中缓冲层、电极层和介电层依序位于记忆合金层上。本发明静电吸头的缓冲层保护静电吸头的电极层和MicroLED，可恢复性伸缩材料制成的记忆合金层可以补偿暂存基板的翘曲、膜层均一性差等带来的gap值，提高静电力，增加转移良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112447578 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011372649.8 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人 南京中电熊猫液晶显示科技有限公

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