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微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风.pdfVIP

微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风.pdf

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    本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；支撑载体包括支撑固定防尘膜的固定部以及设置在固定部中心位置的通孔；在固定部上设置有自固定部凸出并穿过防尘膜的定位部，在微型麦克风的制造过程中，定位部与防尘膜一侧的基板接触定位。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性，防止其在制造过程中脱落或者翘曲。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112492482 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011404889.1 (22)申请日 2020.12.02 (71)申请人 潍坊歌尔微电子有限公司

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