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MEMS若干动力学问题研究第1页/共33页 概要 (Outline)微机电系统的基本概况MEMS动力学问题研究微转子动力学问题研究若干动力学问题的研究MEMS动力学研究展望振动、冲击、噪声国家重点实验室第2页/共33页 1 微机电系统的基本概况1.1 MEMS基本概念1.2 MEMS基本模型1.3 MEMS历史回顾1.4 MEMS加工技术1.5 MEMS研究成果1.6 MEMS应用现状1.7 MEMS技术小结振动、冲击、噪声国家重点实验室第3页/共33页 1.1 MEMS基本概念 微机电系统 MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems (USA)微系统Mcirosystem (Europe)微型机械 Micromachine (Japan)微科学 Microscience (Some researchers)振动、冲击、噪声国家重点实验室第4页/共33页 1.2 MEMS基本模型振动、冲击、噪声国家重点实验室第5页/共33页 1.3 MEMS历史回顾1947年，科学家率先发明半导体晶体管1959年，诺贝尔物理学奖获得者Feynman教授发表著名的MEMS预言演讲 ‘There is plenty of room at the bottom’1964年，Nathenson研制出第一个批量生产的MEMS设备 resonant gate transistor1984年，美国加州大学伯克利分校Howe 和 Muller利用IC工艺开发出多晶硅表面微加工技术，此技术被誉为MEMS加工技术的前奏1988年，美国加利福尼亚大学伯克利分校研制出首台静电微电机，标志着MEMS时代的来临振动、冲击、噪声国家重点实验室第6页/共33页 1.4 MEMS加工技术 表面微加工技术 薄膜生成技术；牺牲层技术 体形微加工技术 化学腐蚀；离子刻蚀 LIGA技术和SLIGA技术 光刻、电铸及注塑 特种精密机械加工技术 电火花加工；激光加工；光造型加工 固相键合技术 阳极键合；Si-Si直接键合；玻璃封接键合；冷压焊键合振动、冲击、噪声国家重点实验室第7页/共33页 1.5 MEMS研究成果 First batch-fabricated MEMS（1964） First polysilicon surface micromachined MEMS device (1984)First electrostatic micromotor（1988）MEMS历史上几个重要的第一次振动、冲击、噪声国家重点实验室第8页/共33页 1.6 MEMS应用现状军事国防生物医学环境保护工厂维修信息通信交通运输航空航天 ……振动、冲击、噪声国家重点实验室第9页/共33页 1.7 MEMS技术小结MEMS是人类科技发展过程一次重大技术整合 微电子、精密加工、传感器、执行器等技术微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成 在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变MEMS极大地改善了人类生存方式与生活质量 大批量、低成本的微传感器、微热行器MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长 不是钢铁、汽车、微电子，而是微系统振动、冲击、噪声国家重点实验室第10页/共33页 概要 (Outline)振动、冲击、噪声国家重点实验室微机电系统的基本概况MEMS动力学问题研究微转子动力学问题研究若干动力学问题的研究MEMS动力学研究展望第11页/共33页 2 MEMS动力学问题研究2.1 微尺度效应2.2 多能域耦合效应2.3 MEMS非线性动力学问题2.4 动力学建模和模拟分析方法振动、冲击、噪声国家重点实验室第12页/共33页 2.1 微尺度效应(Ⅰ)MEMS 象征着超小型计算机芯片与微型传感器、探头、光学元件及执行器的密切结合。 How small is small?振动、冲击、噪声国家重点实验室第13页/共33页 2.1 微尺度效应(Ⅱ) 尺度范围:微型机械0.01m-0.1mmMEMS0.1mm-0.1μmNEMS100nm-0.1nm振动、冲击、噪声国家重点实验室第14页/共33页 2.1 微尺度效应(Ⅲ)S/V ratio shrinks with the scale friction inertia heat dissipation heat storage electrostatic force magnetic force energy coupling energy production Important decrease in manufacturing relative accuracy Shrink