具有双向SCR结构的ESD保护器件及双向SCR结构.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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具有双向SCR结构的ESD保护器件及双向SCR结构.pdf

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本发明公开了一种具有双向SCR结构的ESD保护器件及双向SCR结构，具有双向SCR结构的ESD保护器件包括：P型衬底；第一N阱，第一N阱内设有第一N+注入区和第一P+注入区；P阱，P阱内设有第二P+注入区，第二P+注入区的宽度为D用于调整双向SCR结构的维持电压；以及第二N阱，第二N阱内设有第二N+注入区和第三P+注入区；其中，第一N阱、P阱和第二N阱均设在P型衬底内部，第一N阱与第二N阱紧邻P阱，且第一N阱与第二N阱以P阱的中轴线呈轴对称分布。根据本发明的具有双向SCR结构的ESD保护器件,可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112530935 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011339356.X (22)申请日 2020.11.25 (71)申请人清华大学地址 10