扩散炉软件使用说明.docxVIP

青岛赛瑞达设备制造有限公司 青岛赛瑞达设备制造有限公司 1 1 目录 扩散炉软件使用说明 1 启动 1 启动 1 .进程管理 1 温度实时显示 3 运行信息 3 报警显示功能 4 阀门及流量控制功能 4 推拉舟(机械手)及炉门状态显示 6 调试窗口 6 工艺控制 7 .工艺管理 9 窗口介绍 9 3.2 工具栏介绍 10 3.4 工艺（RECIPE）编写步骤 11 4．工艺表 20 4.1 控制温度表 错误！未定义书签。 4.2 Profiles 修正表 20 4.3 工艺信息表 21 5. 实时曲线 22 5.1 曲线查看 22 5.2 工具栏 23 6． 历史记录 24 6.1 查询历史数据 24 6.2 数据操作 25 7．事件日志 25 7.1 基本操作 25 8.用户管理 26 8.1 添加和删除用户 26 8.2 修改用户权限 27 9 串口配置 28 9.1 串口 28 10 扩散炉参数配置 29 10.1 舟位调整 29 10.2 流量计 30 10.3 报警参数设定 31 10.4 炉管名称修改 32 10.5 风压补偿控制 32 11 窗口排列 33 12 软件注册 35 扩散炉软件使用说明 启动 启动 将计算机电源打开，启动计算机