原创力文档- 2
- 0
- 约4.08万字
- 约 31页
- 2023-06-03 发布于四川
- 举报
本发明公开一种绑定设备及其控制方法，涉及微电子加工设备领域，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台运动；第二直线导轨，设置于主运动平台上，且与第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于第二直线导轨上，工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动工作末端运动；控制装置，分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112654229 B
(45)授权公告日 2021.12.10
(21)申请号 202011534830.4 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.22
您可能关注的文档
- 一种基于客户关系的400电话呼叫方法.pdf
- 一种抗电磁干扰的保护装置和方法.pdf
- 可抑制射流干扰的直列式电流体打印喷头及打印方法.pdf
- 一种高浓度钼掺杂三氧化钨光催化纳米材料及其制备方法.pdf
- 一种具有远程操控的智能家居红外指引装置.pdf
- 一种烹饪装置的控制方法及应用该方法的烹饪装置.pdf
- 一种含噻苯隆和利谷隆的脱叶催熟组合物.pdf
- 陶瓷雾化芯装丝设备.pdf
- 半导体结构的形成方法.pdf
- 一种一键开启式结构.pdf
- 聪明人的九个沟通技巧与六个沟通习惯.pptx
- DRG-3.0版落地在即：书记、院长、医保办主任必记的5个核心政策变化.pptx
- 倒计时预警 → 黑名单红线 → 高危场景 → 测算真相 → 督办落地 → 行动号召.pptx
- DIP3.0全面落地院级专班五项核心职责.pptx
- 病历管理制度落实率：从书写规范到战略资产的全生命周期管控.pptx
- 儿童气质完全指南（0~8岁）(2).pptx
- 2026 ASCO驱动基因阳性晚期NSCLC治疗全景指南.pptx
- 2026国际LC-FAOD诊疗全指南：诊断、营养治疗与长期并发症监测.pptx
- 尸检报告推翻原死亡诊断：纠错还是改病历.pptx
- 同一份病历，为什么首页要写全、结算清单要写少.pptx
文档评论（0）