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一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法.pdf

    本发明提供一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法，所述复合薄膜晶体管在制备过程使用铟盐、镓盐、锌盐和铽盐制作混合溶液，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，将所述母液加入到所述混合溶液中，由此制备得到所述复合薄膜晶体管器件的迁移率达到130cm2/V·s。本发明还提供一种顶栅铟镓锌铽氧/碳纳米管复合薄膜晶体管及其制备方法，其复合薄膜是根据上述铟镓锌铽氧/碳纳米管复合薄膜晶体管制备方法制备得到，所述顶栅铟镓锌铽氧/碳纳米管复合薄膜晶体管的迁移率达到60cm2/V·s。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116207137 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202211484099.8 H01L 29/423 (2006.01) (22)申请日 2022.11

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