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一种激光剥离工艺及系统.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种激光剥离工艺及系统.pdf

    本发明提供一种激光剥离工艺及系统，所述工艺包括：将待剥离器件放置在激光剥离载台系统的设定位置；利用激光剥离控制系统控制所述激光剥离载台系统移动，将所述待剥离器件移动到激光振镜系统所在工作范围内；所述激光振镜系统接收剥离激光，所述激光剥离控制系统控制所述激光振镜系统将所述剥离激光向所述待剥离器件的对应位置射出；所述待剥离器件的对应位置入射所述剥离激光，所述剥离激光对待剥离器件的对应位置进行激光剥离，得到剥离器件。本发明的激光剥离工艺能够解决当待剥离器件的尺寸大于激光振镜的工作范围时，激光振镜无法对

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116197543 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310434539.7 (22)申请日 2023.04.21 (71)申请人 浙江至格科技有限公司 地址 31

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