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本发明公开了一种基于石英管分层的热炉降温结构,包括石英管,所述石英管包括石英管内腔以及石英管外管,石英管外管为分层结构,所述石英管外管包括石英管外层和石英管内层,石英管外层和石英管内层间形成石英管夹层,冷却介质在石英管夹层的流通降低硅片的温度,本发明将硅片热量辐射传导石英管夹层并通过压缩空气传到炉体,相比于自然冷却方式,冷却速度提升5‑10倍,提高冷却速度,本发明将石英管设计为分层结构,导入管、石英管夹层以及导出管形成冷却通道,避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹,提高了使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112665387 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011409351.X
(22)申请日 2020.12.04
(71)申请人 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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