原创力文档- 0
- 0
- 约2.02万字
- 约 19页
- 2023-06-05 发布于四川
- 举报
本公开实施例提供一种半导体装置及其制造方法，其利用钝化掺质来钝化栅极介电层。利用例如浸泡法的工艺使钝化掺质穿过功函数层，导入至栅极介电质层中。钝化掺质为可帮助钝化电子捕捉缺陷(electricaltrappingdefects)的原子，例如为氟。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750774 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011180468.5
(22)申请日 2020.10.29
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 半导体器件及制造方法.pdf
- 半导体装置结构及其形成方法.pdf
- 喷墨打印机及打印方法.pdf
- 包括具有多种金属材料的字线的设备和系统以及相关方法.pdf
- 打印系统、图像形成装置、打印方法以及存储介质.pdf
- 机器人系统及机器人系统的控制方法.pdf
- 透镜装置和图像拾取系统.pdf
- 压电薄膜元件.pdf
- 非水电解质二次电池用正极活性物质和非水电解质二次电池.pdf
- 电动机的磁场位置检测方法.pdf
- JJF(石化)090-2023二氧化氮气体检测报警器校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF(石化)090-2023二氧化氮气体检测报警器校准规范.pdf
- 《JJF(石化)090-2023二氧化氮气体检测报警器校准规范》.pdf
- 《GB/T 32580.1-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第1部分：断路器》.pdf
- GB/T 32580.1-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第1部分：断路器.pdf
- 中国国家标准 GB/T 32580.1-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第1部分：断路器.pdf
- GB/T 32580.4-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第4部分：电压互感器.pdf
- 《GB/T 32580.4-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第4部分：电压互感器》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 32580.4-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第4部分：电压互感器.pdf
- GB/T 18663.6-2026电气和电子设备机械结构 公制系列和英制系列的试验 第6部分：户内机柜的安全要求.pdf
最近下载
- 高中物理必修二第七章《万有引力与宇宙航行》检测题(答案解析).pdf VIP
- 2026至2031中国单脉冲系统设备行业市场发展现状研究及投资战略咨询报告.docx
- 分析方法的验证.pptx VIP
- 深度解析(2026)《GBT 16935.1-2023低压供电系统内设备的绝缘配合 第1部分：原理、要求和试验》.pptx VIP
- HIV感染者及艾滋病患者手术室管理规范.pdf VIP
- 方法验证课件.pptx VIP
- 高中物理必修二第七章《万有引力与宇宙航行》测试题(含答案解析)(3).pdf VIP
- 变分法第八章.ppt VIP
- 医院感染职业暴露防护及报告.pptx VIP
- 2024年常州工业职业技术学院单招职业技能测试题库及完整答案1套.docx VIP
文档评论（0）