1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

用于处理衬底的装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.76万字
  • 约 18页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

用于处理衬底的装置.pdf

    本发明构思的实施例提供一种用于处理衬底的装置。所述用于处理衬底的装置包括：在内部具有处理空间的壳体；在所述空间中支撑衬底的衬底支撑单元；将液体供应到由所述衬底支撑单元支撑的衬底的液体供应单元；以及在所述处理空间中产生气流的气流产生单元，其中所述气流产生单元包括：在所述处理空间中供应第一气体的下降气流的第一气体供应单元；和在所述空间中供应与所述第一气体相比具有更低的湿度的第二气体的第二气体供应单元，当从上方观察时，所述第一气体供应单元和所述第二气体供应单元彼此不重叠。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750727 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011201960.6 (22)申请日 2020.11.02 (30)优先权数据 10-2019-0

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >