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基板处理装置以及基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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基板处理装置以及基板处理方法.pdf

    公开一种基板处理装置以及基板处理方法。本发明的实施例的基板处理装置的特征在于，包括：基板支承单元；药液供应单元，用于将药液供应于被所述基板支承单元支承的基板上面；激光照射单元，用于将激光照射于基板而加热基板；以及控制部，控制成激光照射单元照射激光脉冲，从而反复加热及冷却基板。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750721 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011109697.8 (22)申请日 2020.10.16 (30)优先权数据 10-2019-0

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