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用于连接陶瓷和金属的钎焊工艺以及使用其的半导体加工及工业设备.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于连接陶瓷和金属的钎焊工艺以及使用其的半导体加工及工业设备.pdf

    钎焊工艺使用金属碳合金来将陶瓷连接到陶瓷，将陶瓷连接到金属以及将金属连接到金属。连接的制件可用于多种应用中，并且可包括诸如加热器和卡盘的半导体加工设备制件以及具有高度耐磨表面层的工业设备部件。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805103 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980040126.2 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理

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