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压电器件及其形成方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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压电器件及其形成方法.pdf

    本发明提供一种压电器件，包含衬底、金属‑绝缘体‑金属元件、氢阻挡层、钝化层、第一接触端子以及第二接触端子。金属‑绝缘体‑金属元件安置在衬底上。氢阻挡层安置在金属‑绝缘体‑金属元件上。钝化层覆盖氢阻挡层和金属‑绝缘体‑金属元件。第一接触端子电连接到金属‑绝缘体‑金属元件。第二接触端子电连接到金属‑绝缘体‑金属元件。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802958 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20201

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