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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明涉及刻蚀载具技术领域，公开了一种PSS刻蚀载体托盘，包括刻蚀托盘上盘和刻蚀托盘下盘，所述刻蚀托盘上盘上表面开设有连接槽和导向孔，所述连接槽内部固定连接压环，所述刻蚀托盘上盘上表面设置若干个锁定孔，所述刻蚀凸台内部开设若干个滴液孔，所述刻蚀托盘下盘上表面开设有若干个螺栓预设孔，所述连接螺栓左右两侧均开设有限位槽，所述连接螺栓顶部设置有锁定杆。本发明中，当需要对圆晶片进行刻蚀时，先将连接螺栓插入螺栓预设孔内，通过限位槽使连接螺栓固定于刻蚀托盘下盘，将圆晶片放入刻蚀推盘下盘上表面设置的刻蚀凸台上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768402 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011640575.1
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 深圳市金旺鑫五金有限公司
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