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- 2023-06-07 发布于四川
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本发明公开一种麦克风封装工艺和麦克风封装结构,所述麦克风封装工艺包括:在装片膜上开孔,形成通孔;将所述装片膜贴附于MEMS芯片,以使所述通孔与所述MEMS芯片的音孔对应;将所述MEMS芯片贴装于基板;将ASIC芯片贴装于所述基板;将封装壳体设于所述基板上,并与所述基板围合形成容纳腔,使所述ASIC芯片和所述MEMS芯片容纳于所述容纳腔内。本发明旨在提供一种可方便监控胶层,且有效避免溢胶的麦克风封装工艺,该麦克风封装工艺可有效提高麦克风封装结构的声学性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112830448 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110073228.3
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 潍坊
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