一种微扫机构及装调方法.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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本发明公开了一种微扫机构及装调方法,其中装调方法包括:在第一自准直仪与第二自准直仪互准后,将第一反射镜和第二反射镜分别基于所述第一自准直仪和第二自准直仪进行调试;对所述第二反射镜进行灌胶,以完成微扫机构的装调。本发明装调方法可以仅通过一次性装调成功,实现了减少二次装调工序步骤,同时提高了定位精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112834046 B (45)授权公告日 2022.06.28 (21)申请号 202110018960.0 G01J 5/48 (2006.01)

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