PECVD设备资料的教案.pptxVIP

第1页/共91页PECVD设备资料的教案PECVD的原理及作用 第2页/共91页工作原理：Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压的情况下，等离子发生器直接在，装在镀膜板中间的介质的中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。PECVD设备结构第3页/共91页晶片装载区炉体特气柜真空系统控制系统第4页/共91页PECVD设备结构示意图第5页/共91页简要部分介绍● 上下载部分:有电脑系统,净化风机,机械手等部分; 主要作用:电脑是整个系统的控制中枢,净化风机起局部环境净化作用同时也是上料和下料部分.● 废气室:有炉门排风系统组成; 主要作用:为了保持扩散炉管内良好的密封性能,并将未能从尾气管排出的残留废气及时抽走,防止废气泄露.● 炉体部分:由加热电阻丝组成; 主要作用:通过大电流发热满足工艺要求的扩散温度.● 气柜部分:由所需的各种气路,流量计及. 主要作用:为工艺提供所需的气体流量.第6页/共91页PECVD设备结构上下装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统。桨： 由碳化硅材料制成，具有耐高温、防变形等 性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。LIFT：机械臂系统，使舟在机械臂作用