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AFM原理及应用资料;目录：;AFM基本原理;AFM基本原理;AFM基本原理;AFM基本原理;AFM设备介绍 ;AFM设备介绍;AFM设备介绍 ;AFM设备介绍 ;AFM设备介绍 ;实验方法;实验方法;实验方法;实验方法;实验方法;实验方法;应用实例;应用实例;应用实例;随着衬底N化时间的增加（40s→400s），GaN外延层的表面均方根粗糙度（RMS）逐渐减小（3.365→1.475）；而N化时间为400s时，GaN外延层表面和其他的相比，表面更加均匀一致，并且具有最小的晶粒尺寸，峰谷值为4.247nm。;; ;;THANKs FOR YOUR ATTENTION;感谢观看！