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一种高密度集成线路板复合标靶及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种高密度集成线路板复合标靶及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种高密度集成线路板复合标靶及其制备方法，包括多层高密度集成线路板，还包括：高密度集成线路板上设置有通孔，通孔设置在高密度集成线路板的每个角上；通孔的外围分别设置有同心环；通孔的下一层电路板上设置有无铜区，无铜区均为矩形。高密度集成线路板复合标靶使用集成通孔和激光孔两种靶标设计的复合靶标对位就可以实现同时对通孔与激光孔的位置对准都可以兼顾，最大限度保障到线路与两种不同孔图元的对准度.高密度集成线路板可以为多层板,通常有四层、六层、八层等,通孔贯穿高密度集成线路板或者只贯穿高密度集成线

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112867232 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011640146.4 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 鹤山市世安电子科技有限公司

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