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等离子体处理装置及测定方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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等离子体处理装置及测定方法.pdf

    所公开的等离子体处理装置具备腔室、基板支承器、电气路径及测定器。基板支承器设置于腔室内。电气路径与搭载在基板支承器上的边缘环连接或电容耦合。测定器构成为通过经由电气路径向搭载在基板支承器上的边缘环施加电压来测定电气特征值。通过测定器所测定的电气特征值为根据边缘环的厚度发生变化的值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112863989 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011335246.6 (22)申请日 2020.11.25 (30)优先权数据 2019-2154

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