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描述了一种用于保持基板(101)的保持装置(100)。所述保持装置(100)包括：主体(110)；粘合布置(120)，所述粘合布置提供在所述主体(110)的表面(111)上；和形状记忆元件(130)，所述形状记忆元件与所述主体(110)接触。另外，描述了一种载体，所述载体包括一个或多个保持装置，所述一个或多个保持装置用于保持基板。此外，描述了一种用于从保持装置释放基板的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112867809 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 201880098449.2 (51)Int.Cl.
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