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降低氮化铝的表面氧化物生成的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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降低氮化铝的表面氧化物生成的方法.pdf

    本发明揭露一种降低氮化铝的表面氧化物生成的方法。所述设备具有沉积腔体、冷却腔体以及冷却加载互锁腔体。在物理气相沉积制程中，基板于沉积腔体中受到氮化铝的沉积，并在真空环境下于冷却腔体及冷却加载互锁腔体中进行冷却，以避免高温的氮化铝镀膜基板暴露于大气环境而造成其表面氧化物的生成。本发明所述的方法与设备可进一步降低氮化镓沉积于氮化铝的表面氧化物所造成的结晶缺陷。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113025987 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 20191

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