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- 2023-06-09 发布于四川
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本发明提供了一种基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，包括如下步骤：S1、手动选取模板，选取MEMS器件运动视频的其中一帧图像，并选取该图像中的部分区域作为模板与输入的图像进行匹配；S2、将模板和输入的图像同时放大相同的倍数；S3、进行模板匹配定位；S4、计算相邻两帧图像之间的位移。本发明所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法利用亚像素级定位算法进行面内位移的计算，在保持结果精度的前提下，使得抗干扰能力大幅提升、计算时间大幅度减少，有利于MEMS器件的指导设计制造、产品可靠性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112906802 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110224935.8
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 天地伟业技术有限公司
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