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本发明公开一种耐高温且宽量程的声表面波应变传感器，该应变传感器包括弹性体支架和设置在拱形弹性体支架上的声表面波器件，两者之间通过高温陶瓷胶粘合；声表面波器件包括压电衬底层、叉指电极和反射栅；应变传感器通过所述弹性体支架贴合在待测物体表面；所述弹性体支架将待测物体的应变传递到所述声表面波器件，使得应变传感器受到均匀应变，并保持声表面波器件的频率变化与被测应变呈线性传递比例。本发明的应变量程可达到同材料、同厚度声表面波传感器的9～10倍，且不需要额外的复杂工艺；本发明可以应用在更多微小、复杂、密闭、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985316 B
(45)授权公告日 2022.07.26
(21)申请号 202110187453.X (56)对比文件
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