气相沉积炉及填料密封结构的安装方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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气相沉积炉及填料密封结构的安装方法.pdf

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本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113025993 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110208440.6 (22)申请日 2021.02.24 (71)申请人森松（江苏）重工有限公司

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