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一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置.pdf

    本发明公开了一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置，包括底座，底座的顶部焊接安装有水冷仓，水冷仓的一侧壁位于水冷仓的顶部焊接安装有注水管，水冷仓的另一侧壁位于水冷仓底部焊接安装有泄水管，水冷仓内置放置架，放置架的内侧壁开设有滑槽。该具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置，通过设置水冷仓，配合水冷仓内的冷却液能够有效地对其晶元进行快速降温，从而一定程度上缩短了冷却所需时间，同时也大大提高了冷却效率，且装置位于水冷仓的顶部设置有烘干仓，致使装置在对其晶元进行水冷降温后能够直接对其晶元表面的残余水

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113203239 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110382006.X H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2021.04

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