透射电镜TEM讲义.pptxVIP

透射电镜TEM讲义;透镜分辨率;如何提高显微镜的分辨率; 电子波长 ; 不同加速电压下的电子波波长 ; 电磁透镜 ;电磁透镜;电磁透镜的像差及其对分辨率的影响;电镜的像差为：球差、像散、色差。其中球差不可消除且对电镜分辨率影响最显著；像散可以消除；色差的影响是电压波动和样品厚度不均;球差;衍射效应的分辨率和球差造成的分辨率;透射电镜：是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。;通常透射电镜由电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和操作控制系统组成． 其中电子光学系统是电镜的主要组成部分，通常称为镜筒．;高压系统;真空系统;操作控制系统;观察和记录系统; 透射电镜，通常采用热阴极电子枪来获得电子束作为照明源。 热阴极发射的电子，在阳极加速电压的作用下，高速穿过阳极孔，然后被聚光镜会聚成具有一定直径的束斑照到样品上。 具有一定能量的电子束与样品发生作用，产生反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或位向差别的多种信息。;;光学显微镜与透射电镜的比较 ;TEM成像系统可以实现两种成像操作：一种是将物镜的像放大成像，即试样形貌观察；另一种是将物镜背焦面的衍射花样放大成像，即电子衍射分析。 TEM成像系统中的物镜是显微镜的核心，它的分辨率就是显微镜的分辨率。; 透射电镜的显著特点是分辨本领高。目前世界上最先进的透射电镜的分辨本领已达到0.1nm,可用来直接观察原子像。;相位衬度;位错;45钢900℃水淬，600℃回火1h，6000×;具有一定能量的电子束与样品发生作用，透过样品的电子束，携带了反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或位向差别的多种信息，这样的电子束经放大后形成反映这些信息的透射电子像。 正确分析透射电子像，需要了解图象衬度与以上这些反映材料特征信息之间的关系。 透射电子像中，有三种衬度形成机制： 质厚衬度 衍射衬度 相位衬度;1.原子核和核外电子对入射电子的散射; 按Rutherford模型，当入射电子经过原子核附近时，其受到核电场的库仑力-e2Z/rn2作用而发生偏转，其??迹是双曲线型。散射角?n的大小取决于入射电子和原子核的距离 rn：  ?n = eZ / rnU 或 rn = eZ/ ?nU　　　电子电荷　　原子序数　　电子加速电压而相应的一个孤立原子核的散射截面为 ?n =πrn2=πe2Z2 / ?n2U2 ; 当一个电子与一个孤立的核外电子作用时，也发生类似的偏转，散射角由下式决定： 　　?e = e / reU 或 　re = e / ?e U 从而相应的一个核外电子的散射截面为 ?e = ? re2 = 2e2/ ?e2U2 我们定义单个原子的散射截面为 ?0 = ?n + Z ?e ;　　原子核对入射电子的散射是弹性散射，而核外电子对入射电子的散射是非弹性散射。 透射电镜主要是利用前者进行成像，而后者则构成图像背景，从而降低了图像衬度，对图像分析不利，可用电子过滤器将其除去。;2.透射电镜小孔径角成像 ; 小孔径角成像意味着只允许样品散射角小于α的散射电子通过物镜光阑成像，所有大于α的都被物镜光阑挡掉，不参与成像。 定义散射角大于α的散射区为散射截面。显然，若使αn=αe=α，则表示，凡落入散射截面以内的入射电子不参与成像，而只有落在散射截面以外的才参与成像。;3. 质厚衬度原理 设电子束射到一个原子量为M、原子序数为Z、密度为ρ和厚度为t的样品上，若入射电子数为n，通过厚度为dt后不参与成象的电子数为dn，则入射电子散射率为; 当其他条件相同时，像的质量决定于衬度（像中各部分的亮度差异）。 现在讨论的这种差异是由于相邻部位原子对入射电子散射能力不同，因而通过物镜光阑参与成像的电子数也不同形成的。;　令N1为A区样品单位面积参与成像的电子数，N2为B区样品单位面积参与成像的电子数，则A、B两区的电子衬度G为; 对于大多数复型来说，因其是用同一种材料做的，上式可写为 即衬度G取决于质量厚度ρt，这就是所谓质量厚度衬度(简称质厚衬度)的来源。实际上，这里G仅与厚度有关，即;　　当A、B两区不是由同一种物质组成时，衬度不仅取决于样品的厚度差，还取决于样品的原子序数差。　　同样的几何厚度，含重原子散