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光学指纹器件中形成红外截止滤光膜的方法.pdfVIP

光学指纹器件中形成红外截止滤光膜的方法.pdf

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    本发明提供一种光学指纹器件中形成红外截止滤光膜的方法，通过治具覆盖对应于图像传感器的焊盘区的部分，在对应于图像传感器的感光区的部分形成红外截止滤光膜，实现了红外截止滤光膜避开图像传感器的焊盘区的目的，以免影响焊盘区的电学连接性能，由于治具可以反复利用，节省了光刻步骤所需的工艺时间和材料成本，提高了生产效率，增加了产能，降低了制造成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113270430 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 20201

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