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- 2023-06-17 发布于四川
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这里公开了一种微机电器件、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上形成微机电单元，其中，所述器件衬底是激光透明的；在微机电单元上执行至少一部分后续晶元处理；从器件衬底侧照射激光，以通过选择性激光剥离，从器件衬底释放经至少一部分后续晶元处理的微机电单元，以形成微机电器件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113264500 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110461931.1
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 歌尔微电子股份有限公司
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