标准稿--镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分（送审稿）.docVIP

GB/T ××××—×××× GB/T ××××—×××× PAGE PAGE 19 ××××-××-××实施××××-××-×× ××××-××-××实施 ××××-××-××发布 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 Methods for chemical analysis of nickel-platinum target alloys -Part two：Determanation of magnesium,aluminium, titanium ,vanadium, chromium,manganese, iron,cobalt,copper，zinc,zirconium,silver,palladium,tin,samarium,lead,silicon content -Inductivety coupled plasma mass spectrometry (送审稿) 引 言 本文件所指镍铂靶材合金为一种铂成分不同的合金，一般采用真空熔炼法来制得，作为半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料。化学成分是镍铂靶材合金的重要考核指标。根据检测对象和检测手段的不同，GB/T XXXX拟由3个部分构成。 ——第1部分：铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱； ——第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法； ——第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法。 上述各部分标准通过明确适用范围、规范试剂、材料、试验设备和步骤，并经过多家实验室反复试验和验证给出精密度数据，增强了不同试验室间数据的一致性和可比性，为镍铂靶材合金的品质核查建立严谨、规范的标准化工作基础。 本文件精密度数据是在2023年由11家实验室对铂含量的3个不同水平样品进行共同试验确定的。每个实验室对每个水平的碳含量在重复性条件下独立测定11次，共同试验数据按GB/T 6379.2进行统计分析。 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分:镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 警示——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能 的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。 1 范围 本文件规定了镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定方法。 本文件适用于镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定。测定范围见表1。 表1 测定范围 元素 测定范围 ∕ % 元素 测定范围 ∕ % Ti 0.000010～0.010 Pd 0.000050～0.010 Ag 0.000010～0.010 Pb 0.000050～0.010 Sn 0.000010～0.010 Mg 0.00010～0.010 Sm 0.000010～0.010 Cu 0.00010～0.010 Zn 0.000050～0.010 Fe 0.00010～0.010 Al 0.000050～0.010 Co 0.00010～0.010 Cr 0.000050～0.010 Zr 0.00010～0.010 Mn 0.000050～0.010 Si 0.00050～0.010 V 0.000050～0.010 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单） 适用于本文件。 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 17684 贵金属及其合金术语 3 术语和定义 GB/T 17684 贵金属及其合金术语界定的术语和定义适用于本文件。 4 原理 试料以盐酸-硝酸聚四氟乙烯烧杯溶解，铁、硅以钪为内标，在反应池（DRC）工作模式下测定其同位素的信号强度；钒以钪为内标，在碰撞池（KED）工作模式下测定其同位素的信号强度；镁、铝、钛、铬、钒、锰、钴、锌以钪为内标，在正常工作模式下测定其同位素的信号强度；铜、锆、钯、银、锡以钇为内标，在正常工作模式下测定其同位素的信号强度；钐、铅以铼为内标，在正常工作模式下测定其同位素的信号强度。 5 试剂 除非另有说明，仅使用确认为优级纯的试剂和电阻率≥18MΩ．Cm的一级水；标准溶液、试剂溶液贮存于塑料瓶中。 5.1 氢氧化钾，优级纯。 5.2 硝酸（ρ1.42g