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一种复合涂层及其制备方法与应用和制备系统.pdfVIP

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  • 2023-06-19 发布于四川
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一种复合涂层及其制备方法与应用和制备系统.pdf

    本发明提供了一种复合涂层及其制备方法与应用和制备系统，涉及涂层技术领域。本发明提供的复合涂层的制备方法，包括以下步骤：将固态弧源进行弧光放电后进行磁过滤，得到弧光放电等离子体；将所述弧光放电等离子体与气体源进行反应后在导电金属基底表面进行共沉积，得到复合涂层；所述固态弧源包括固态碳源、固态钛源和固态铝源中的一种或几种；所述气体源包括含碳气体和/或含氮气体。本发明提供的制备方法，不仅采用了磁过滤筛选弧光放电等离子体，同时采用化学气相沉积方法增加了不同气体源，达到等离子体与化学气相共沉积的目的，为制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113278954 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110569979.4 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人 南京

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