原创力文档- 8
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- 2023-06-20 发布于四川
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本发明公开了一种具有温度补偿功能的固体装配型体声波谐振器，将布拉格反射层位于衬底上，布拉格反射层由低声阻抗层和高声阻抗层相互交替形成；第一温度补偿层位于布拉格反射层上；由从下至上依次排布的下电极、压电层和上电极构成的压电振荡堆位于第一温度补偿层上；第二温度补偿层位于上电极上；第一温度补偿和第二温度补偿层均采用正温度系数材料。本发明通过在谐振器中加入双层温度补偿结构，显著降低器件的频率温度系数，使得器件能够适应当今大功率、高频率的工作环境；同时，位于布拉格顶层的第一温度补偿层不仅能够反射纵波，也对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113328719 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110681925.7
(22)申请日 2021.06.19
(71)申请人 深圳市封神微电子有限公司
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