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泄漏检查方法和泄漏检查装置.pdfVIP

泄漏检查方法和泄漏检查装置.pdf

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    本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113324709 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110225279.3 (22)申请日 2021.03.01 (30)优先权数据 2020-0334

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