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一种非制冷红外微测辐射热计用热敏薄膜.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种非制冷红外微测辐射热计用热敏薄膜.pdf

    本发明涉及非制冷红外探测技术领域，公开了一种非制冷红外微测辐射热计用热敏薄膜，其特征在于，由SnxZn1‑xO材料制成，其中x的取值范围是0.15~0.35；在25℃时，所述热敏薄膜的方阻为1~200KΩ/□，电阻温度系数为‑1.8~‑3.8%/K；在ZnO中掺杂Sn得到SnxZn1‑xO热敏薄膜，与没有掺杂Sn相比，掺杂后的热敏薄膜在具有较低方阻的情况下，能够获得更高的电阻温度系数；该热敏薄膜的电性能的长期稳定性好，制备工艺简单易行，适宜规模化生产。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114107924 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111333017.5 C23C 14/54 (2006.01)

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