一种微电子机械系统MEMS加速度计.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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本发明公开了一种微电子机械系统MEMS加速度计,包括底板和MSME加速度计本体,所述MSME加速度计本体设置于底板的上端,所述底板的上端设有壳体,所述壳体的下端与底板靠近左右两侧的上端活动卡接。本发明通过将壳体置于底板上,使得两块固定块分别插设于腔室内,并由压力弹簧带动勾型卡块插设于限位卡槽内,有效对壳体进行卡接固定,方便进行拆装,通过将电磁屏蔽片插设于若干橡胶制品的限位片之间,使得电磁屏蔽片对MSME加速度计本体提供有效电磁屏蔽,通过将防尘软片插设于矩形开口上的条形插槽内,有效对防尘软片进行限

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113387320 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110675416.3 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人 东莞理工学院 地址

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