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本发明公开了一种沟槽栅逆导型IGBT器件,沟槽栅分成了第一栅极结构和第二栅极结构,漂移区的背面通常形成有集电区和与集电区掺杂类型相反的背面源区,第二栅极结构控制第二沟道形成的第二阈值电压小于第一栅极结构控制第一沟道形成的第一阈值电压。第二栅极结构的第二栅极导电材料层和发射区一起都连接到发射极,由发射区、通过第一栅极导电材料层控制的基区、漂移区和集电区组成IGBT单元。由发射区、通过第二栅极导电材料层控制的基区、漂移区和背面源区组成反向恢复晶体管单元。本发明通过单极导电模式的反向恢复晶体管单元来输
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451400 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110720251.7
(22)申请日 2021.06.28
(71)申请人 宁波达新半导体有限公司
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