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涂覆刀片电极的方法、刀片电极、滑动弧等离子体反应器和等离子体转化甲烷的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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涂覆刀片电极的方法、刀片电极、滑动弧等离子体反应器和等离子体转化甲烷的方法.pdf

    本发明涉及等离子体领域，公开了涂覆刀片电极的方法、刀片电极、滑动弧等离子体反应器和等离子体转化甲烷的方法，该方法包括：采用原子层沉积法应用涂覆材料对滑动弧等离子体反应器中的刀片电极进行涂覆以在所述刀片电极的表面获得含有层叠设置的至少两个单层原子层沉积金属氧化物薄膜的镀层，所述镀层为半导体材料，其中，所述镀层的层数为至少两层，且形成任意相邻两个所述镀层的涂覆材料不同。本发明提供的方案通过对刀片电极的表面涂覆电介质层将刀片电极进行改性，能够使得甲烷直接高效转化为乙烯，并且能够降低能耗，有效抑制积碳，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116272756 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202111567211.X (22)申请日 2021.12.20 (71)申请人 中国石油化工股份

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