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托盘装置及具有该托盘装置的刻蚀机.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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托盘装置及具有该托盘装置的刻蚀机.pdf

    本实用新型公开了一种托盘装置及具有该托盘装置的刻蚀机，所述托盘装置包括：托盘，用于放置于刻蚀机的下电极，包括：晶圆承载面，用于承载晶圆；晶圆非承载面，低于所述晶圆承载面；通孔，位于晶圆承载面与晶圆非承载面之间，用于流通冷却气体；压盘，用于盖设于所述托盘以固定晶圆。托盘装置能够提高晶圆降温效果。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219267594 U (45)授权公告日 2023.06.27 (21)申请号 202223434261.3 H01L 21/673 (2006.01) (22)申请日 2022.12

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