荧光线路量测系统及方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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本发明提供一种荧光线路量测系统及方法，该系统包括量测平台、光源装置、第一影像捕获设备以及图像处理装置。该光源装置设置于该量测平台的相对侧，提供一激发光至该待测基板上，使该待测基板产生一荧光照射于该金属线路的侧壁区域上，以此在该金属线路的上表面区域与侧壁区域产生一荧光亮度差异。该第一影像捕获设备设置于该量测平台的俯视方向侧用于。该图像处理装置连接至该第一影像捕获设备，根据该俯视影像与该荧光亮度差异，产生线路信息。本发明可以有效的提升待测基板上金属线路的侧壁区域以及上表面区域之间的对比度，通过设定适

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337893 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202210812454.3 (22)申请日 2022.07.11 (30)优先权数据