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W IRD 0 325 镀膜机操作及镀膜工艺指导书
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镀膜机操作及镀膜工艺指导书
镀膜机操作及镀膜工艺指导书
受控状态及编号
文件编号
GL/WI-RD-03-25
页 码
1 of 30
部 门
技术部
公布日期
2023 年 12 月 9 日
拟 制
徐 威
审核
批准
变 更 履 历
3 2023-10-09
将老版文件改为版的格式
12023-05-28文件整合2
1
2023-05-28
文件整合
2
2023-08-15
内容增
2、增加表单 20
客户审核要求 1、增加变更履历 1 2、去掉产品镀膜前烘烤要求 15
3、5#镀膜机增加光栅增透 15
42023-04-29内容增5
4
2023-04-29
内容增
5
2023-09-09
内容增
6
2023-04-13
内容变更
7
2023-04-24
内容增
8
2023-05-18
客户审核要求
9
2023-08-05
文件整合
10
2023-01-15
内容变更
11
2023-04-7
内容增
12
更 3#镀膜机作业流程 9-14
增 4#镀膜机作业流程 19-21 增镀膜产品切换要求 21 全部更 全文
1.变更 4#5#6#机台清洗周期 2 变更 4#工艺参
数
增 7.95um/10.8um 光 栅 镀 膜 工 艺
9-14
增加 405nm 增透工艺 20
122023-7-28内容变更132023-9-13内容增142023-9-20内容增152023-4-18内容增162023-11-21文件整合172023-12-30内容变更182023-2-8
12
2023-7-28
内容变更
13
2023-9-13
内容增
14
2023-9-20
内容增
15
2023-4-18
内容增
16
2023-11-21
文件整合
17
2023-12-30
内容变更
18
2023-2-8
内容变更
19
2023-3-12
内容变更
20
2023-5-21
内容增
21
2023-12-26
内容变更
4. 变更 6#镀膜机工艺参数 30
增《镀膜工艺卡片》 18,32
增 3#,4#镀膜机烘烤温度点检要求
增镀膜工艺卡片三洋BD414 蓝光偏小AR、正常 AR、偏大AR
全部更 全文
局部内容调整 3.4.7
表单变更 28
表单变更 28
增加测温时机,时机为停机大于等于 24 小时后测温。
明确 8.2.4 中 C 条处理方法
表单变更 28
聂旭光周霞 周霞 杨莎 周霞 聂旭光冯浩 冯浩 何健 何健 何健 冯浩
冯浩徐威
徐威袁超
叶小兵冯浩
徐威
靖泽兵靖泽兵靖泽兵靖泽兵
靖泽兵
靖泽兵
22
22
2023-1-5
内容增
增阳极筒更换留意事项
16
徐威
1.增清扫留意事项及膜料存放要求 3、
4
23
2023-1-14
内容增
增下伞条件
增离子源存放要求
变更设备清洗流程
22
变更配件更换要求
增加《产品面别一览表》
8
16
13 、15、20、
徐威
24
2023-12-9
应客户要求
14、21
29-30
杨莎
25
2023-4-23
内容变更
Sio2 加料变更
4
徐威
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一、目的
为了标准镀膜作业员镀膜操作,特制定该文件。
二、适用范围
本文件适用于参与镀膜操作的全体人员。
三、设备及关心材料
1#:昭和真空镀膜机;
2#:昭和真空镀膜机;
3#:莱宝真空镀膜机;
4#:韩一真空镀膜机;
5#:现代南光 ZZS1100 真空镀膜机;
6#:现代南光 ZZS1100 真空镀膜机;
其它设备及关心材料:镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、丙酮、口罩、手套。
四、镀膜机制作产品范围
编号
编号
名称
适用产品
4.1
1#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等
4.2
2#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等
4.3
3#莱宝镀膜机作业流程
光栅、滤光片、分光、全反、增透膜等
4.4
4#韩一镀膜机作业流程
滤光片、分光、全反、增透膜等
4.5
5#南光镀膜机作业流程
分光、增透膜等
4.6
6#南光镀膜机作业流程
增透膜等
4.7
镀膜产品切换要求
生产中削减产品切换频率
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五、镀膜作业内容
报废NG
报废
NG
开机
清扫
添料
光控、晶控
确认
上伞
排气
〔抽真空〕
镀膜
昭和莱宝
昭和
莱宝
韩一
开机
参考设备部文件
参考设备部文件
参考设备部文件
1、 使用工具:铜刷和吸尘器
2、 2、清扫流程:
3、
4
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