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提供能够检测膜厚的时间变化率中的特异性的变化的测定异常检测装置及测定异常检测方法。当使用对晶体振荡器的发送和从晶体振荡器的接收的相关关系计算在晶体振荡器堆积的膜厚的时间变化率时，检测晶体振荡器中的测定异常，控制装置(20)对根据相关关系导出的相位或者虚数部设置基准，利用基准确定能够追随测定异常的标本，对标本的时间变化量是否由所述测定异常引起进行评价，由此检测测定异常。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113720252 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110565378.6 (51)Int.Cl .
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