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本发明提供了一种提升靶材利用率的方法,包括如下步骤:(1)将废旧靶材加工至所需要尺寸;(2)将加工后的废旧靶材套设于特殊材料辅助垫高件的一端;(3)将所述特殊材料辅助垫高件的另一端连接至靶材座,形成新的真空镀膜靶材;(4)对新的真空镀膜靶材进行导热性以及导电性测试。本发明提供了一种提升靶材利用率的方法,利用废旧靶材、特殊材料靶材辅助垫高件以及靶材座,实现废旧靶材的重复利用,从而提高靶材的利用率,能够有效地提高靶材利用率,降低采购靶材频次,减少因更换靶材而导致的镀膜成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113774338 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110963009.2
(22)申请日 2021.08.20
(71)申请人 厦门建霖健康家居股份有限公司
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