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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明实施例公开了一种叠层电容器及其制作方法。该方法包括:提供基底;在基底上形成第一隔离绝缘垫以及多个分立的底部焊盘;在底部焊盘上形成子电容结构;子电容结构包括多个分立的下电极、多个分立的上电极以及位于下电极和上电极之间的电介质,多个底部焊盘与多个下电极一一对应电连接;在子电容结构上重复执行N次形成连接结构以及子电容结构的操作,以使N个连接结构和N+1个子电容结构沿垂直于基底的方向交替排列;其中,N为大于等于1的整数。本发明实施例提供的技术方案可以增大叠层电容器的极板之间的面积,进而增大叠层电容
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113809080 B
(45)授权公告日 2023.02.28
(21)申请号 202010550132.7 (56)对比文件
(22)申请日 2020.06.16
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