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执行装置及执行方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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执行装置及执行方法.pdf

    示例性实施方式所涉及的执行装置具备动作装置、第1加速度传感器、第2加速度传感器及控制装置。动作装置执行规定动作。第1加速度传感器检测沿水平方向的第1方向上的加速度。第2加速度传感器检测沿水平方向的与第1方向相交的第2方向上的加速度。控制装置根据第1加速度传感器及第2加速度传感器的输出值来识别半导体制造装置内的执行装置的输送位置。在识别出执行装置已被输送至规定位置时，控制装置使动作装置执行规定动作。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808901 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110616987.X (22)申请日 2021.06.03 (30)优先权数据 2020-1030

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