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体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置.pdf

    本实施提供一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置，体声波谐振装置包括：包括空腔的第一层；第一电极层，至少一端位于空腔；压电层，位于第一电极层上，覆盖空腔，包括第一侧及相对的第二侧，第一电极层位于第一侧；第二电极层，位于第二侧，位于压电层上，第二电极层上的与第一电极层的重合部位于空腔上方，对应空腔；第一复合结构，位于第一侧，接触压电层，与第一电极层水平方向上相邻，第一复合结构靠近第一电极层的第一端位于空腔内，远离第一电极层的第一端水平方向上相对的第二端嵌入第一层，包括第一边缘延伸层及第一支撑层

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113810005 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111041933.1 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人 常州承芯半导体有限公司

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