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基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统.pdf

    本发明公开了一种基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统，用于检测具有铬层和透明基底的掩膜版的缺陷，方法步骤中包含：在掩膜版匀速移动的过程中，透射光和反射光交替照射于掩膜版；透射光照射于掩膜版时，透射光先透过透明基底，后被成像于图像采集面；反射光照射于掩膜版时，反射光先经铬层反射，后被成像于图像采集面；采集每一次成像于图像采集面的透射光的透射光图像信号及每一次成像于图像采集面的反射光的反射光图像信号；对采集到的透射光图像信号和反射光图像信号分别进行提取、重组，得到掩膜版表面透射图像和反射图像。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113834818 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111078994.5 (22)申请日 2021.09.15 (71)申请人 江苏维普光电科技有限公司

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